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   ü Ǵ ü 帣 ο ġϿ 


    帣 ü (ü Ǵ ü) ϴ ġ.


 

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   SUS316 ۵ ̼ θ 濭 ܺο ĸ ͸ ġϿ 

   濭 ο 帣 ü Ǵ ü ϴ .



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   2.ǰƯ¡

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      - ǰǹ԰ ġ


     ȿ شȭ ü ¿ ӵ(40sec: 20 200)

     SUS316 ü û

         - ݵü, LCD Clean


     HEATER ܺο ġǾ  ο ü
  
      ݿ
  


   3.ǰ뵵 о

        2 Steam

      FPD CDA , N2 Gas HotDI Eater

      Ÿ û Gas 䱸Ǵ Gas

      Ÿ û ü 䱸Ǵ ü (Water, Chemical )


                                                                                                                                                                                                               

   

ALH-1000

ALH-2500

ALH-5000

   

1-1.png

1-2.png

1-3.png

ܻ    220V

ܻ    220V

ܻ    220V

Ϳ뷮

1.0kW

2.5kW

5kW

ְdzµ

250

250

250

ְdz

       

(@1.5f/)

750lpm

750lpm

1500lpm

µ

100

100

100

Ա

PT 1/4

PT 1/2

PT 1/2

PT 1/4

PT 1/2

PT 1/2

µSensor

/ (K-Type)

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